Σύστημα PECVD Τριών Ζωνών Θέρμανσης 1200C
Σύστημα PECVD Τριών Ζωνών Θέρμανσης 1200C

Σύστημα PECVD Τριών Ζωνών Θέρμανσης 1200C

Το SK{0}}CVD-12TPB4 είναι ένας κλίβανος σωλήνων για σύστημα PECVD, που αποτελείται από τροφοδοτικό ραδιοσυχνοτήτων 300W ή 500W, σύστημα ροής ακριβείας πολλαπλών καναλιών, σύστημα κενού και φούρνο σωλήνων. Η συνήθως χρησιμοποιούμενη θερμοκρασία είναι 1100 βαθμοί Κελσίου ή χαμηλότερη και τα κύρια χαρακτηριστικά της είναι η χαμηλή θερμοκρασία εναπόθεσης, ο γρήγορος ρυθμός, η καλή ποιότητα φιλμ, οι λιγότερες τρύπες καρφίτσας και λιγότερο επιρρεπής σε ρωγμές. Μια ιδανική συσκευή για την καλλιέργεια νανοσυρμάτων ή την προετοιμασία διαφόρων λεπτών μεμβρανών με τη μέθοδο CVD.
Αποστολή ερώτησής
χαρακτηριστικό

 

● Μέγιστη θερμοκρασία RT-1200 βαθμοί

● Διαχωρισμένος τύπος κλιβάνου, μπορείτε να ανοίξετε τον φούρνο.

● Μπορεί να εισάγει περισσότερα από 2 κανάλια αερίου, με βαθμό κενού 10Pa χρησιμοποιώντας μηχανική αντλία και τροφοδοτικό RF 500W για ενίσχυση του σήματος.

● Υλικά μόνωσης από κεραμικές ίνες αλουμίνας υψηλής απόδοσης

● Ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας ±1 βαθμός

● Με λειτουργία συναγερμού υπερβολικής θερμοκρασίας

● Ο ανεμιστήρας ψύξης μπορεί να μειώσει τη θερμοκρασία του περιβλήματος

 

Μοντέλο

SK2-CVD-12TPB4

Διαστάσεις: Τυπικό μήκος ζώνης θέρμανσης (mm)

440 χλστ

Διαστάσεις: Τυπική διάμετρος σωλήνα (mm)

∮60 χλστ

Μέγιστη θερμοκρασία

1200 μοίρες, θερμοκρασία συνεχούς λειτουργίας 1100 μοίρες.

Τάση (V)

220 1P

Τύπος θερμοστοιχείου

K

Θερμαντικό στοιχείο

Σύρμα αντίστασης από κράμα HRE

Θερμ. Ακρίβεια

±1 βαθμός

Ρυθμός θέρμανσης

0-30 βαθμός /λεπτό δωρεάν προσαρμογή

Υλικό θαλάμου

Χρησιμοποιώντας προηγμένο υψηλής ποιότητας υλικό μικροκρυσταλλικών ινών αλουμίνας

Δομή κλιβάνου

Δομή διπλής στρώσης αερόψυκτης δομής, η θερμοκρασία της επιφάνειας είναι μικρότερη από 60 μοίρες

ΕΛΕΓΚΤΗΣ ΘΕΡΜΟΚΡΑΣΙΑΣ

Έξυπνο όργανο ελέγχου θερμοκρασίας PID, 30 τμήματα προγράμματος, έλεγχος SSR, λειτουργία αυτόματης ρύθμισης παραμέτρων PID. πρόγραμμα αύξησης θερμοκρασίας, πρόγραμμα διατήρησης θερμότητας, ψύξη προγράμματος

Τροφοδοτικό RF 500W

Ισχύς εξόδου: 5-500W ±1 βαθμός

Συχνότητα RF: 13,56MHz ±0,005%

Ανακλαστική ισχύς: έως 100W

Ταίριασμα: Αυτόματο

Διεπαφή RF: 50Ω, τύπου N

Ψύξη: αερόψυξη

Τροφοδοτικό: AC 208-240V, 50/60HZ

Σύστημα ροής ακριβείας 4 καναλιών αερίου

1. Ρυθμός ροής πλήρους κλίμακας (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 λίτρα/λεπτό.

2. Τύπος βαλβίδας: Solenold βαλβίδα.

3. Θέση ηρεμίας βαλβίδας: Κανονικά κλειστή.

4. Διαφορική πίεση: (50-300)kpa

5. Αντοχή στην πίεση: 3mpa.

6. Θερμοκρασία λειτουργίας: 5-45 βαθμοί

7. Υλικά: ανοξείδωτο ατσάλι 316L.

Σύστημα κενού

5*10-3Πα

KF25 γρήγορη σύνδεση, φυσούνα από ανοξείδωτο χάλυβα, χειροκίνητη βαλβίδα και φλάντζα πτερυγίου, αντλία κενού

Τα υψηλότερα συστήματα κενού μπορούν επίσης να εξοπλιστούν προαιρετικά.

image001

ΚΑΛΩΣ ΗΡΘΑΤΕ OEM/ODM

 

Τυπικά αξεσουάρ

 

Θερμικά γάντια|Γάντζος χωνευτηρίου|Θερμοστοιχείο|Μπλοκ σωλήνων|Εγχειρίδιο χρήσης |Εργαλεία|Αντλία κενού| Σωλήνας χαλαζία |Φλάντζα |Δακτύλιος στεγανοποίησης |Σωλήνας αερίου 10mm |Στήριξη φλάντζας, Σύστημα αερίου, ισχύς ραδιοσυχνοτήτων.

 

Προαιρετικός

 

Διαφορετική ζώνη θέρμανσης για την επιλογή σας.

Έλεγχος οθόνης αφής LCD για επιλογή

Θύρα RS485/USB για σύνδεση υπολογιστή για επιλογή.

 

Λεπτομερής εικόνα για CVD-PECVD

 

image003
Τροφοδοτικό RF 500W
image005
Σύστημα κενού
image007
Σύστημα ροής ακριβείας 4 καναλιών αερίου

 

Εφαρμογή

 

Αυτή η συσκευή χρησιμοποιείται κυρίως για την καλλιέργεια νανοσυρμάτων ή την προετοιμασία διαφόρων λεπτών υμενίων με τη μέθοδο CVD.

 

Εγγύηση

 

Εγγύηση ενός έτους και δια βίου τεχνική υποστήριξη

Ειδικές συμβουλές:

1. Αναλώσιμα όπως θερμαντικό στοιχείο, σωλήνας χαλαζία, χωνευτήριο δείγματος κ.λπ. δεν εμπίπτουν στην περίοδο εγγύησης.

2. Οι ζημιές που προκαλούνται από τη χρήση διαβρωτικού αερίου και όξινου αερίου δεν καλύπτονται από την εγγύηση.

 

Δημοφιλείς Ετικέτες: 1200c σύστημα pecvd τριών ζωνών θέρμανσης, κατασκευαστές συστημάτων pecvd τριών ζωνών θέρμανσης Κίνα 1200c, προμηθευτές